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MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

實現(xiàn)LED半導體工廠核心工藝設(shè)備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸?shù)闹悄芑詣游锪习崴拖到y(tǒng)。由如下設(shè)備和子系統(tǒng)組成:MOCVD晶圓倒片機,配置了防塵貨架的AGV,存儲石墨盤的電子貨架,和與MOCVD對接實現(xiàn)上下片功能的周轉(zhuǎn)單元。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍(上片或下片)425pcs/h
產(chǎn)品良率
≥99.9%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以內(nèi)
MO倒片機尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周轉(zhuǎn)單元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根據(jù)具體功能定制
電子貨架尺寸根據(jù)具體功能定制


設(shè)備優(yōu)勢

全自動:AGV運載石墨盤根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動在電子貨架、MO倒片機,周轉(zhuǎn)單元對接;

電子貨架存儲石墨盤且與中控系統(tǒng)實時通訊監(jiān)控石墨盤狀態(tài);

MO倒片機實現(xiàn)自動上下石墨盤,Pocket自動清潔,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、可反流程實現(xiàn)自動下片,Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES;

周轉(zhuǎn)單元與MO設(shè)備無縫對接,實現(xiàn)自動上下石墨盤,收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統(tǒng)通訊;

高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等

人性化:成熟先進的自動控制技術(shù),增加智能監(jiān)控,智能語音提醒,既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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